多層六方氮化硼生產(chǎn)機制

天元航材化工原料廠家的小編今天給大家介紹下關于多層六方氮化硼生產(chǎn)機制的相關介紹，我們是一家生產(chǎn)銷售六方氮化硼，白石墨等氮化硼化工原料的廠家，已有50年的生產(chǎn)工藝經(jīng)驗，那么您知道多層六方氮化硼的生長機制是怎么樣的嗎？一起來看看吧！

六方氮化硼（H-BN）具有優(yōu)異的綜合性能和特殊的二維結(jié)構(gòu)，在許多高科技領域具有非常廣闊的應用前景。自石墨烯發(fā)現(xiàn)以來，二維層狀材料成為近幾十年來的研究熱點，在諸多領域顯示出巨大的應用潛力。其中，有幾個原子層的六方氮化硼（H-BN），又稱白石墨烯。六方氮化硼（H-BN）是第三代寬禁帶半導體的代表材料之一，由于其寬禁帶、高溫穩(wěn)定性、優(yōu)良的機械性能、低介電常數(shù)和化學惰性。目前，晶圓級單晶H-BN單層的可控合成已取得突破。然而，由于先進的H-BN合成技術發(fā)展緩慢，且缺乏對傳統(tǒng)方法生長機理的研究，大尺寸、高質(zhì)量H-BN的可控合成及其實際應用受到限制。
現(xiàn)階段,h-BN原材料的生長發(fā)育及制作加工工藝尚不成熟,目前的化學氣相沉積(CVD)加工工藝溫度高,腐蝕刺激性強,加工工藝操縱繁雜,還有非常大的提升前景.中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所副研究員吳天如精英團隊和華東師范大學專家教授袁清紅精英團隊，根據(jù)原位合成、表現(xiàn)科學研究與第一性原理計算方法，指出鐵硼（Fe2B）合金表面高質(zhì)量多層六方氮化硼（h-BN）原子空位協(xié)助生長發(fā)育新機制。
下面介紹一種多層六方氮化硼的制備方法，包括以下步驟：含硼和氮的化合物或含硼和氮的化合物在泡沫材料的催化下進行化學氣相沉積反應，沉積在基材上，即得到多層六方氮化硼。
1、泡沫材料的元素選自以下至少一種：鎢、鎳、銅、鐵、釕、鋁、鈦、鈷、鐵、鉻、鎂、錳、鉬、銠、鉭；
2、每英寸泡沫材料的孔數(shù)可以為10～1000個，具體數(shù)量可以是100個、10個～1000個、100個～1000個或50個～500個。
3、鹵化硼可以是氯化硼、氟化硼或溴化硼中的至少一種；10.過渡金屬可以選自銅(Cu)、鋁(Al)、鎳(Ni)、鈷(CO)、鐵(Fe)、鉑(PT)、金(Au)、鉻(Cr)中的至少一種)、鎂(MG)、錳(Mn)、鉬(Mo)、釕(RH)、鉭(TA)、鈦(Ti)、銠(RH)和鎢(W)
4、含硼化合物包括乙硼烷、氯化硼、溴化硼和碘化硼中的至少一種；5.氮化合物是氨；

6、含硼和氮的化合物包括氨基硼烷和/或環(huán)硼烷；

7、基材為過渡金屬；

8、基板的厚度可以是0.1μm～2000μm，具體可以是25μm、25μm～2000μm、0.1μm～25μm或10μm～1000μm。
9、化學氣相沉積反應的溫度以1-200C/min的速度冷卻至室溫，可以是102.5、1-102.5C/min、102.5-200C/min或50-150C/min。
11、泡沫材料孔徑可以0.01mm～1mm，具體可以0.1mm、0.01mm～0.1mm、0.1mm～1mm、0.05mm～0.5mm；
14、化學氣相沉積反應，系統(tǒng)壓力可為1Pa～105Pa，具體可為16Pa；
15、化學氣相沉積反應溫度可800℃～1500℃，具體可1050℃；
16、化學氣相沉積反應時間可以1min～200min，具體可以30min。
17、在化學氣相沉積中，載氣為氫氣、氬氣和氮氣中的至少一種。
12、載氣流量可以0.1sccm～3000sccm，具體可以是10sccm、0.1sccm～10sccm、10SCcm～3000sccm或1SCcm～1000sccm；
13.在載氣流中，泡沫材料和基板靠近泡沫材料放置，基板之間的距離為0~10cm。
天元航材化工原料廠家的小編就給你介紹到這里了，有疑問的可以電話咨詢小編我！
參考資料:https://news.sciencenet.cn/htmlnews/2020/10/446827.shtmhttp://www.lps.ecnu.edu.cn/4b/df/c4826a347103/page.htm